高精度XY轴直线模组

作者:Mosen摩森机电 日期:19/02/20 10:36 浏览:521

Akribis直线模组设计特点:

A. 直线电机直驱

B. 高精度以及精准回零

C. 3种盖板可供选择(包括无尘室盖板)

D. 行程从100 mm 至1200mm

E. 模块化设计


 DGL系列(双导轨直线模组)采用Akribis直线电机系统,具有高刚性以及高稳定性的特点。作为Akribis标准模组为客户提供方便快捷的模组制定方案。


直线电机直驱

采用Akribis直线电机对模组进行直接驱动。两种型号电机可供选择: AUM系列(无铁芯电机)ACM系列(有铁芯电机)。AUM系列为客户提供低速更加稳定的模组系统。ACM系列在相同尺寸下为客户提供更大的直驱推力。

 

高精度以及精准回零

DGL系列标准模组采用高精度的光栅编码器系统,为客户提供高精度的定位平台。

 

模块化设计

DGL系列采用标准化的模块设计,可以根据客户需求进行模块化组合。

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直线模组XY直线模组XYZ直线模组XYZ直线模组XY直线模组


性能参数单位参考值
加速度G10
速度(分辨率为1μm)




m/s

5(40μm光栅距和20MHz计数频率)
速度(分辨率为0.5μm)2.5(20μm光栅距和20MHz计数频率)
速度(分辨率为0.1μm)1.3(20μm光栅距和20MHz计数频率)
速度(模拟量编码器)8(40μm光栅距和200KHz输入频率)
4(20μm光栅距和200KHz输入频率)
*直线度





μm

±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
*平面度±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
重复精度(分辨率为1μm)±3μm(40μm光栅栅距)
重复精度(分辨率为0.5μm)±1.5μm(20μm光栅栅距)
重复精度(分辨率为0.1μm)±1μm(20μm光栅栅距)
重复精度(模拟量编码器)±5counts


*所有的测量数值基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。




SFB-直线模组

高精度XY轴直线模组


 



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