检验液晶基板内几十um厚度的薄膜纹路，根据需要用激光照射来清除微小纹路的修复系统。可加工大型液晶基板，设备整体为龙门式结构。另外，在加工头上装有高倍摄像头，用于确认加工情况。
直线电机的应用
直线电机以及间距误差修正带来的高刚性龙门驱动
增益调整功能同时确保加工时（低速）的XY直线插补的轨迹准确，以及快进（高速）时的稳定性。
加工时的鲁棒干扰控制功能可抑制电缆干扰引起的速度波动
