TGV（玻璃通孔技术）

后摩尔时代，芯片制程微缩逼近物理极限，玻璃基板逐步替代传统硅基板，成为2.5D/3D封装、光电合封（CPO）的核心基材。而TGV（玻璃通孔技术）作为玻璃基板产业化的核心工艺，是实现芯片高密度互连、突破高频高速传输瓶颈的关键，已成为全球芯片巨头布局的核心赛道。雅科贝思以“全链路定制化”为核心，打造专属精密运动平台解决方案，从机械结构、核心部件到控制系统，全方位适配TGV加工工艺需求。

行业痛点

TGV 微米级通孔加工对生产设备要求极高，运动控制平台是产业化核心瓶颈，需同时兼顾微米级成孔、高动态响应、长期运行稳定性三大严苛指标：

• 精度：针对≤5um 高深宽比微孔加工，平台需实现 100nm 最小步距、‡0.05um 静态跳动；传统设备定位精度低，易造成孔径偏移、孔壁形貌不良；

•动态响应：

加工范围覆盖30um~300mm、孔深达 500um，要求Y轴在2g 加速度、1000mm/s 运行速度下，动态跟随误差≤t2um，传统平台无法实现高速与高精度兼容；

• 稳定性：

为保障填孔、布线工艺一致性，设备高速运转时速度波动率需≤0.1%，核心部件温升控制在1°C以内；传统平台热漂移、振动问题突出，大幅降低量产良率。

解决方案

雅科贝思构建了以高刚性龙门式结构为统一承载基座的协同精密系统。在此坚固且对称的机械框架上，高精度气浮平台奠定了纳米级静态稳定的基石，直接满足微米级成孔对极致定位精度的要求；针对高速加工带来的振动，集成于龙门结构内的主动平衡质量方案，从物理根源上抵消了冲击力，从而在实现Y轴 2g 加速度和 1000mm/s 高速运动的同时，将动态误差控制在 ‡2wm以内，攻克了高动态精度挑战；龙门架构上集成的定制化水冷直线电机提供了强劲而平滑的动力，其卓越的热管理能力保障了核心温升被严格限制。

最终，这一切通过纳米级全闭环控制系统实现智能融合：超高分辨率反馈与高速控制器进行毫秒级协同，确保整个加工过程的速度波动率低于0.05%，满足高良率量产对一致性的终极要求。

方案优势

雅科贝思TGV精密运动平合结构

雅科贝思解决方案聚焦TGV量产工艺核心痛点，以定制化适配、极致性能、全流程服务保障为核心构建差异化竞争优势，精准破解TGV量产精度不足、适配性差、效率偏低、服务滞后等行业难题，全方位助力客户实现TGV工艺稳定、高效规模化量产，

具体体现在：

深度定制适配，贴合TGV全工艺流程：全链路贴合TGV加工工艺，可根据客户孔径、深宽比、加工速度等核心需求，灵活调整平台参数，实现与设备、工艺的无缝衔接，避免标准化产品的适配短板。

极致精密性能，保障纳米级稳定加工：

高刚性龙门架构，气浮轴承与无铁芯电机的协同实现了：0.3um重复定位精度、t2um直线度；1200mm/s速度下跟随误差<1wm，速

度波动率低于0.05%，静态抖动稳于‡50nm。龙门结构使纳米级精度得以稳定保持，并确保了其性能。创新抑振技术，大幅提升量产加工效率：自研平衡质量方案将高速运动的整定时间从2500ms缩短至50ms（1.5m/s速度、2g加速度），效率提升50倍，以主动抑振结合被动刚性，为激光的飞行光路提供了对抗微振动的双重保障，确保了加工的持续精度与可靠性。

全流程闭环服务，护航客户无忧量产：

根据客户实测反馈快速优化方案，跨部门高效协作全力保障紧急货期，并提供快速的现场技术支持，构建从方案调试到量产维护的全闭环

服务，确保客户全程无忧。