洁净室是一种环境,可确保最低水平的环境污染物,如灰尘,空气中的微生物,气溶胶颗粒和化学蒸气。它对许多应用至关重要,包括生命科学测试,半导体,检测和电子制造,必须避免污染。为确保这一点,洁净室中的所有设备也必须无污染。在制造用于洁净室的组件(包括线性机械)时,必须遵循严格的程序来实现洁净室规范。
虽然这些移动部件是颗粒状的,但如果考虑颗粒形成的数量和位置,仍然可以制造和组装线性机械以获得洁净室认证。此外,必须考虑应用程序中的其他几个变量才能正确满足这些性能要求,包括:
• 舞台上没有或存在层流气流
在洁净室中保持安全和环境标准对于应用成功至关重要。要实现这一点,重要的是要有通风橱。层流气流非常适合需要精密直线模组和清洁工作环境的应用,例如零件检测或光学组件。
• 运动曲线(加速度,速度等)
对于任何需要线性力学的应用,必须为直线模组提供正确的运动曲线。对于洁净室应用来说尤其如此,以确保清洁环境不受损害。如果运动曲线不正确,定位器的电机可能会过热,或者可能会损坏内部组件。随着新的颗粒污染物被引入空气中,这两个问题都会对洁净室环境产生负面影响。
• 舞台方向
你的线性舞台的运动方向是什么(水平,垂直,颠倒)?在洁净室中,安装方向会影响颗粒释放到大气中。如果可以实现,最好的安装解决方案是将移动组件保持在工作区域下方。此外,正面朝上安装方向可以更好地捕获系统内的颗粒而不是垂直或倒置取向。
• 相对于舞台的兴趣点
在设计洁净室环境时,必须考虑直线模组和样品在其最大行程时的位置。整个系统应保持在通风橱下,以确保维持洁净室状态。即使只有一小部分定位器暴露在外部环境中,污染仍然会蔓延到整个洁净室。这肯定会影响线性致动器的性能。
如您所见,在使用直线机制时,没有一种标准方法可以正确设置洁净室环境。应针对每个应用审查每个变量,以确保定位器适合洁净室使用。在派克,我们提供各种精密直线模组,适用于洁净室环境中的应用。
我们在洁净室中使用的所有直线机械都要经过标准测试程序,以确保它们符合联邦标准209E和ISO标准14644的边界条件。其中一种产品是微型方形导轨模组mSR系列。由于其设计中接触面的数量有限,因此非常适合洁净室使用。
直线模组mSR可用于各种洁净室应用,包括:
生命科学应用,如显微镜或数字病理学,由于低调和高精度
半导体计量应用由于其直线度,平直度和高精度。
由于小尺寸,高加速度和高速容量的组合,可用作电子制造的定位器