直线电机平台用于晶圆、蓝宝石等检测，由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动；XY轴采用交叉滚柱导轨，中空结构，内置光栅系统。分辨率50nm，重复定位精度可达士0.75um，绝对定位精度2um；有效行程70*70mm，最大速度200mm/s；可定制。