AFXS直线电机平台

直线电机平台用于晶圆、蓝宝石等检测,由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动;XY轴采用交叉滚柱导轨,中空结构,内置光栅系统。分辨率50nm,重复定位精度可达士0.75um,绝对定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。
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X轴
Y轴

行程


70mm70mm
分辨率50nm50nm
定位精度±2μm  ±2μm
重复度±0.75 μm±0.75 μm
平面度±3.5 μm
直线度±3.5 μm
最大速度200 mm/s
建议负载重量< 1 Kg
中空尺寸90 * 110 mm

XY轴正交度

10 arc sec


AFXS直线电机平台.

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