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AFXS直线电机平台

直线电机平台用于晶圆、蓝宝石等检测，由Akribis高性能无铁芯直线电机驱动；XY轴采用交叉滚柱导轨，中空结构，内置光栅系统。分辨率50nm，重复定位精度可达士0.75um，绝对定位精度2um；有效行程70*70mm，最大速度200mm/s；可定制。

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产品详情

Akribis雅科贝思直线电机平台

AFXS直线电机平台：参数

	X轴	Y轴
行程	70mm	70mm
分辨率	50nm	50nm
定位精度	±2μm	±2μm
重复度	±0.75 μm	±0.75 μm
平面度	±3.5 μm
直线度	±3.5 μm
最大速度	200 mm/s
建议负载重量	< 1 Kg
中空尺寸	90 * 110 mm
XY轴正交度	10 arc sec

AFXS直线电机平台

AFXS直线电机平台.