无尘室外壳 XY 直线模组平台

无尘室外壳DGL XY 直线模组平台, 采用雅科贝思无尘室盖板标准DGL模组组成。具有良好的刚性性能,以及良好的定位精度。适用于无尘室环境。
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直线电机PDF资料下载

设计特点:

A. 无铁芯直线电机直驱

B. 高精度以及精准回零

C. 无尘室盖板

1562635482114810.

直线模组匹配


模组电机型号有效行程(mm)运动质量(Kg)总质量(Kg)传感器限位(mm)硬限位(mm)

DGL200

上轴

AUM4-S23003.129304320
AUM4-S33003.429304320

下轴

AUM4-S330024.9103304320
AUM4-S430026.1103304320

注:花岗岩的质量大约240Kg.


直线模组


性能参数


规格参数单位DGCR 300DGCRS 300
1直线度μm±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
平面度±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
重复精度(1μm分辨率)±3μm(40μm光栅栅距±3μm(40μm光栅栅距)
重复精度(1μm分辨率)±1.5μm(20μm光栅栅距±1.5μm(20μm光栅栅距)
重复精度(0.1μm分辨率)±1μm(20μm光栅栅距)±1μm(20μm光栅栅距)
重复精度(模拟量)±5 counts±5 counts
X-Y正交性Arc-sec1010


注:所有的测量数据基于直线模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。



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