风琴罩外壳DGL XY 直线模组

风琴罩外壳DGL XY 直线模组平台, 采用雅科贝思风琴罩盖板标准模组DGL组成。
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设计特点:

A. 无铁芯直线电机直驱

B. 高精度以及精准回零

C. 风琴罩外壳

 

风琴罩外壳DGL XY 平台, 采用雅科贝思风琴罩盖板标准DGL模组组成。具有良好的刚性性能,以及良好的定位精度。适用于重油污环境。PDF资料下载


风琴罩直线模组

模组配置

模组电机型号有效行程(mm)运动质量(Kg)总质量(Kg)传感器限位(mm)硬限位(mm)
DGL200上轴AUM4-S23003.129304320
AUM4-S33003.429304320
下轴AUM4-S330024.9103304320
AUM4-S430026.1103304320

注:花岗岩的质量大约260Kg.

 风琴罩外壳DGL XY 直线模组

性能参数

规格参数单位DGCR 300DGCRS 300
1直线度μm±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
1平面度±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm±3μm/25mm,NTE±10μm/300mm
重复精度(1μm分辨率)±3μm(40μm光栅栅距)±3μm(40μm光栅栅距)
重复精度(0.5μm分辨率)±1.5μm(20μm光栅栅距)±1.5μm(20μm光栅栅距)
重复精度(0.1μm分辨率±1μm(20μm光栅栅距)±1μm(20μm光栅栅距)
复精度(模拟量)±5 counts±5 counts
X-Y正交性Arc-sec1010


注:所有的测量数据基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。



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